Jaki jest wpływ temperatury powierzchni płytki na suche trawienie?

Wpływ temperatury powierzchni na trawienie na sucho obejmuje głównie: osadzanie polimeru, selektywność, przepływ fotomaski, lotność produktu i szybkość trawienia, morfologię powierzchni, trawienie, trawienie

Osadzanie polimeru: Polimery wytwarzane podczas procesu osadzają się na powierzchni, wpływając na szybkość trawienia i selektywność. Temperatura wpływa na szybkość osadzania i stabilność polimerów, przy czym wysokie temperatury rozkładają lub zmniejszają osadzane warstwy, a niskie temperatury zwiększają osadzanie polimeru.

0021-09835 R2Liner jest częścią wytrawianą.
Selektywność: Selektywność materiałów trawiących i materiałów maskujących jest bardzo wrażliwa na temperaturę. Zbyt wysokie temperatury zmniejszą selektywność trawienia, ponieważ przyspieszenie szybkości trawienia będzie pokrywać się z maską trawienia. Fotomaska: Kiedy fotomaska ​​płynie w wysokich temperaturach, fotomaska ​​zmięknie, rozpłynie się, a nawet zacznie tworzyć pęcherze, powodując zniekształcenie topografii.
Lotność produktu i szybkość trawienia: Temperatura wpływa na lotność produktów ubocznych reakcji chemicznych, a produkty uboczne są bardziej lotne w wysokich temperaturach, co pomaga zwiększyć szybkość trawienia. Z drugiej strony niskie temperatury prowadzą do pozostałości produktów ubocznych i zmniejszają wydajność trawienia.
Topografia trawienia: Temperatura trawienia jest zbliżona do temperatury zeszklenia (Tg) materiału, a topografia powierzchni jest jednolita. Temperatura trawienia jest znacznie niższa niż temperatura zeszklenia, a trawienie powierzchni jest nierówne, a chropowatość jest duża.