Przenośnik próżniowy wstępny (Loadlock) i korpus główny platformy transferowej

Przenośnik próżni wstępnej to komora transferowa dla atmosfery i próżni, która służy do izolowania komory reakcyjnej od bezpośredniego kontaktu z atmosferą zewnętrzną, aby zapewnić czystość komory reakcyjnej i zmniejszyć prawdopodobieństwo zanieczyszczenia komory reakcyjnej. Gdy moduł przedni musi podnieść i umieścić wafel na przenośniku próżni wstępnej, należy go wypełnić azotem, ciśnienie powietrza w jamie jest regulowane do stanu atmosferycznego, a następnie zawór transmisyjny przenośnika próżni wstępnej z boku modułu przedniego jest otwierany w celu pobrania i umieszczenia wafla; Podczas podnoszenia i umieszczania wafli z komory transferowej (część platformy transferowej) na korpusie transferowym próżni wstępnej, konieczne jest użycie pompy próżniowej w celu wypompowania gazu z korpusu transferowego próżni wstępnej, dostosowanie do stanu próżni, a następnie otwarcie zaworu transferowego po drugiej stronie korpusu transferowego próżni wstępnej, a następnie przeprowadzenie pobierania i umieszczania wafli.

Konkretne kroki transportu płytki w systemie transferowym są następujące: wszystkie drzwi są zamknięte → otwiera się port ładowania płytki, otwiera się drzwi kasety na płytkę → manipulator atmosferyczny chwyta płytkę z pojemnika na płytkę kasety → płytka jest umieszczana na urządzeniu wyrównującym → kalibruje się położenie płytki → do LoadLockA wprowadzany jest gaz azotowy → otwiera się drzwi LoadLockA → manipulator atmosferyczny umieszcza płytkę w LoadLockA → zamyka się drzwi LoadLockA → LoadLockA wykonuje odkurzanie → otwiera się drzwi komory reakcyjnej → pusty manipulator umieszcza płytkę w komorze reakcyjnej → zachodzi reakcja → po zakończeniu reakcji komora reakcyjna jest odkurzana → otwiera się drzwi komory transferowej → manipulator próżniowy przenosi płytkę do systemu transferowego komora → zamyka drzwi komory reakcyjnej → otwiera drzwi LoadLockB, → manipulator próżniowy przesuwa płytkę do LoadLockB → zamyka drzwi LoadLockB → LoadLockB jest wypełniony azotem → otwiera drzwi LoadLockB → manipulator atmosferyczny przesuwa płytkę z LoadLockB → zamyka LoadLockB